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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제18권 제2호
발행연도
2005.1
수록면
148 - 152 (5page)

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Atmospheric low-temperature plasma was produced using dielectric barrier discharge (DBD) plate-type plasma reactor and high frequency of 13.56 Hz. The surfaces of polyimide films for insulating and packaging materials were treated by the atmospheric low-temperature plasma. The contact angle of 67° was observed before the plasma treatment. The contact angle was decreased with deceasing the velocity of plasma treatment. In case of oxygen content of 0.2 %, electrode gap of 2 mm, the velocity of plasma treatment of 20 mm/sec, and input power of 400 W, the minimum contact angle of 13° was observed. The chemical characteristics of polyimide film after the plama treatment were investigated using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and new carboxyl group bond was observed. The surfaces of polyimide films were changed into hydrophilic by the atmospheric low-temperature plasma. The polyimide films having hydrophilic surface will be very useful as a packaging and insulating materials in electronic devices.
#Plasma #Atmospheric #Low-temperature #Polyimide #Hydrophilic

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/ 1988. / Stable glow plasma at atmos- pheric pressure 21 : 838 ~ google schola / 1995. / Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy United States of America google schola / 1998. / Surface modification of polymeric materials by atmospheric plasma treatment 34 : 100 ~ google schola / 2000. / Generation of large-volume 28 (nequilibrium plasma) : 189 ~ google schola / 2002. / Modification of the surface properties of a polypropylene film using an air dielectric barrier discharge plasma 189 : 31 ~ google schola

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