수소 화물 기상 증착법을 이용한 InN 나노 알갱이 성장에 관한 연구

전재원; 이상화; 김진교

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자료유형: 학술저널

저자정보: 전재원 이상화 김진교

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제6호

발행연도: 2007.11

수록면: 479 - 482 (4page)

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수소화물 기상 증착법을 이용하여 [0001] 방향에서 0.3 °기울어진 사파이어 기판 위에 InN 나노 알갱이를 성장 시켰고, 다양한 성장 조건에 따라 InN 나노 알갱이의 성장이 어떻게 영향 받는지 x-선 산란을 이용하여 연구 하였다. 모든 시료는 암모니아 사전 처리 작업을 한 사파이어 기판 위에 증착하였다. 염화수소 유량, 성장 온도, 소스 영역온도에 따라 InN 나노 알갱이의 성장이 영향을 받음을 알 수 있었으며, 갈륨과 인듐을 혼합한 소스를 사용하였음에도 불구하고, 성장 조건에 따라 InN가 성장되지 않는 경우가 있었으며, 이 때는 특히 (001) 방향의 GaN 이외에 (100) 및 (101) 방향의 GaN 나노알갱이들이 급격히 많이 생성됨을 확인하였다.

#InN 나노 알갱이 #Hydride Vapor Phase Epitaxy #방사광 x-선 산란 #핵화층 #InGaN #synchrotron x-ray scattering #phase diagram

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1. [학술지(정기간행물)] - L. L. Huang / 2007 / Phys

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