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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제4호
발행연도
2008.7
수록면
292 - 301 (10page)

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반도체 및 디스플레이 공정과 같이 진공의 높은 청결도의 진공이 필수적으로 요구되어 지는 산업분야가 확대됨에 따라 건식진공펌프의 중요성은 급격히 증대되어 왔다. 다단루츠형 진공펌프와 함께 건식진공펌프 양대 축의 하나를 형성하는 스크류형 건식진공펌프는 공정부산물 발생이 많은 고 난이도 응용분야에서 그 장점을 발휘하여 왔다. 최근 들어 에너지 효율이 획기적으로 개선된 스크류형 건식진공펌프의 개발이 활발히 진행되고 있다. 이 총설논문에서는 스크류형 건식진공펌프의 전반적 기술 사항들을 살펴보고 실제 반도체 공정에의 응용 및 스크류형 건식진공펌프의 향후 발전 방향에 대하여 살펴보았다.
#건식진공펌프 #진공펌프 #스크류형 #건식진공펌프 #스크류로터 #백킹펌프 #Drypump #Vacuum pump #Screw-type vacuum pump #Screw-rotor #Backing pump

목차

Ⅰ. 진공기술 및 진공펌프의 발전
Ⅱ. 건식진공펌프
Ⅲ. 스크류 형 건식진공펌프의 특징
Ⅳ. 스크류 형 건식진공펌프의 반도체/디스플레이 공정에의 응용
Ⅴ. 스크류 형 건식진공펌프의 향후 발전방향
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [기타자료] - 국제 표준화기구 / / International Standard Organization) 와 미국진공학회 (American Vacuum Society)의 기준에 따른 정의 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 정광화 / 1992 / / 한국진공학회지 1 (400) google schola 3. [기타자료] - ISO 3529 II / / Vacuum Technology: Vocabulary Part II" google schola 4. [단행본] - 김홍배 / 2002 / 진공의 기초 / 전자재료사 : 29 ~ 34 google schola 5. [단행본] - 주장헌 / 2004 / 진공기술 실무 / 홍릉과학출판사 : 48 ~ 56 google schola

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정순희 ,  임종연 ,  이완형 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002 .06

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