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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 20 - 25 (6page)
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RF magnetron sputtering 법을 이용하여 증착된 ZnO:Al 박막을 열처리하여 열처리 전·후 ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. 열처리 온도에 따라 ZnO:Al 박막의 특성이 많이 영향 받음을 확인하였다. 열처리 온도가 증가함에 따라 ZnO:Al 박막의 결정성과 가시광선 영역(400∼800 nm)에서 투과도는 감소함을 보였다. 반면, 박막의 비저항은 400oC로 열처리 온도가 증가함에 따라 급격히 증가하였다. 이는 박막 표면에 O2 또는 N2가 흡착하여 캐리어 농도 감소에 의한 것으로 판단된다.
목차
I. 서론
II. 실험방법
III. 실험결과 및 고찰
IV. 결론
참고문헌
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001274272