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이 논문의 연구 히스토리 (4)
2020
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Mo-N based coatings have been studied for enhancing mechanical characteristics of thin films. In the case of Mo-X-N coatings, the microstructure and mechanical properties can be affected by the addition of the third element. In this work, Mo-Cu-N coatings were successfully fabricated with varying the Cu content from 4.5 at% to 31 at% by the co-sputtering method. Thus, properties of the coatings were analyzed by EDS, SEM, XRD, AFM, nano indentation and scratch test techniques. From observed results, MoxN bonds were made in a nitrogen atmosphere and Cu elements were present at grain boundaries. In addition, coatings with the Cu content above 14 at% had a Cu3N peak in the XRD results. Thus, it is suggested that the formation of Cu3N phase affected the microstructure and mechanical properties of Mo-Cu-N coatings. Mechanical properties of Mo-Cu-N coatings were found to be relatively better at Cu content of about 12 at%.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
T. Cselle and A. Barimani, Today's applications and future developments of coatings for drills and rotating cutting tools, Surf. Coat. Technol., 76-77 (1995) 712
M. urgen, O.L. Eryilmaz, A.F. Cakir, E.S. Kayali, B. Niliifer, Y. ISik, Characterization of molybdenum nitride coatings produced by arc-PVD technique, Surf. Coat. Technol., 201 94-95 (1997) 501-506
J. Valli, U. Makela, and H. T. G. Hentzell, Tribological properties of MoXN coatings in contact with copper, J Vac Sci Tech, 2850 (1986)
A. AUBERT AND J. DANROC, Hard chrome and molybdenum coatings produced by physical vapor deposition, Thin Solid Films, 126 (1985) 61-67
Kwang Lung Lin and Yu Jin Ho, Deposition and properties of Mo-N films, J Vac Sci Tech 13, 2872 (1995)
M. urgen, O.L. Eryilmaz, A.F. Cakir, E.S. Kayali, B. Niliifer, Y. ISik, Characterization of molybdenum nitride coatings produced by arc-PVD technique, Surf. Coat. Technol., 201 94-95 (1997) 501-506
J. Valli, U. Makela, and H. T. G. Hentzell, Tribological properties of MoXN coatings in contact with copper, J Vac Sci Tech, 2850 (1986)
A. AUBERT AND J. DANROC, Hard chrome and molybdenum coatings produced by physical vapor deposition, Thin Solid Films, 126 (1985) 61-67
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