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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.37 No.4
- 발행연도
- 2020.4
- 수록면
- 291 - 296 (6page)
- DOI
- 10.7736/JKSPE.019.141
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In this study, experiments were performed to determine if the pattern fabricated by the UV nano imprint process could be modified using additional processes such as surface treatment. We wanted to confirm the fabrication possibility of a special pattern such as the reverse trapezoidal shape difficult to produce because of the releasing problem. The UV ozone treatment (Hydrophilic Treatment) and OTS coating (Water Repellent Treatment) were used and shape modification occurred under controlled treatment time. As a result of performing the UV ozone treatment for 30 minutes or more on a micro pattern manufactured by UV curing resin of PUA series, the contraction phenomenon of the micro structure occurred and the shrinkage was dependent on treatment time. When the OTS treatment was performed, the surface of the microscale pattern could be roughened. When the nanoscale pattern was treated, the pattern change could be induced. It was possible to partially cure the resin by adjusting the UV absorption using dye material, and the deformation of the pattern was made by an additional pressing process. As a result of the experiment of the various methods causing the shape change of the cured pattern, the possibility of the methods was verified.
목차
1. 서론
2. 실험
3. 결론
REFERENCES
참고문헌 (17)
참고문헌 신청
Song, K. H., Lee, D. Y., Park, K. H., Lee, S. W., Kim, H. C., et al., “Micro Pattern Machining on Larger Surface Roll Molds,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 11, No. 2, pp. 7-12, 2012.
Kim, N. K. and Kim, H. J., “The Effect of Dimensions of Micro- Post on Oleophobic Property,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 17, No. 5, pp. 91-96, 2018.
Kwak, M. K., “A Review-Productivity Enhancements of Micro/ Nano Patterning Methods,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 35, No. 11, pp. 1019-1026, 2018.
Lim, H., Lee, J., Choi, K. B., Kim, G., and Lee, S., “Technology for Roll-Based Nanoimprint Lithography Systems,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 12, No. 5, pp. 1-8, 2013.
Lee, S . H., Jo, J. D ., K im, K. Y., a nd Choi, Y. M ., “ Recent Research Trend of Micro Hot-Embossing,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol, 35, No. 11, pp. 1027- 1034, 2018.
Kim, N. K. and Kim, H. J., “The Effect of Dimensions of Micro- Post on Oleophobic Property,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 17, No. 5, pp. 91-96, 2018.
Kwak, M. K., “A Review-Productivity Enhancements of Micro/ Nano Patterning Methods,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 35, No. 11, pp. 1019-1026, 2018.
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