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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
곽병호 (리스광시스템) 최경주 (충북대학교 소프트웨어학과)
저널정보
디지털산업정보학회 디지털산업정보학회논문지 디지털산업정보학회논문지 제15권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
63 - 70 (8page)

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The subject of the simultaneous measuring system of base pattern and deposition pattern is a new research topic on a defect inspection of OLED. In this paper, we propose a new OLED inspection method that simultaneously measures standard and deposition pattern images. This method reduces unnecessary processes and tac time during OLED inspection. For an additional reduction of the tac time during pattern measurement, the ROI was configured to measure only in the designated ROI area instead of measuring the entire area of an image. During the ROI set-up, the value of effective deposition pattern area is included so that if the deposition pattern is out of the ROI zone, it would be treated as a defect before measuring the size and center point of the pattern. As a result, the tac time and inspection process could be shortened. The proposed method also could be applied to the OLED manufacturing process. Production of OLED could be increased by reducing tac time and inspection process.
#OLED inspection #Standard Pattern #Deposition Pattern

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