Simulation of Modeling Characteristics of Pumping Design Factor on Vacuum System

Kim, Hyung-Taek; Cho, Han-Ho

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자료유형: 학술저널

저자정보: Kim, Hyung-Taek (Dept. of Advanced Materials Science and Engineering, Incheon National University) Cho, Han-Ho (Dept. of Advanced Materials Science and Engineering, Incheon National University)

저널정보: 한국인터넷방송통신학회 International journal of advanced smart convergence International journal of advanced smart convergence 제5권 제2호

발행연도: 2016.1

수록면: 1 - 7 (7page)

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Recently, with the development of advanced thin film devices comes the need for constant high quality vacuum as the deposition pressure is more demanding. It is for this reason our research seeks to understand how the variable design factors are employed in such vacuum systems. In this study, the effects of design factor applications on the vacuum characteristics were simulated to obtain the optimum design modeling of variable models on an ultra high vacuum system. The commercial vacuum system simulator, $VacSim^{(multi)}$, was used in our investigation. The reliability of the employed simulator was verified by the simulation of the commercially available models of ultra high vacuum system. Simulated vacuum characteristics of the proposed modeling aligned with the observed experimental behavior of real systems. Simulated behaviors showed the optimum design models for the ideal conditions to achieve optimal pressure, pumping speed, and compression ratio in these systems.

#Vacuum system #Design factor #Pumping system #Vacuum characteristics #Vacuum simulation

참고문헌 (6)

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김형택 / 2013 / Analysis of High Vacuum System Based on the Applications of Vacuum Materials / Transactions on Electrical and Electronic Materials 14(6):334~338

Varian Associates, Inc / 2001 / Basic Vacuum Practice 2ndEd :69

James M. Lafferty / 1999 / Foundations of Vacuum Science and Technology / John Wiley & Sons :103

H.W. Kim / 2007 / Introduction to basic vacuum engineering for semiconductor and display processing / NaeHa :100~109

김형택 / 2009 / Simulation of outgassing effects of vacuum materials on vacuum characteristics / 반도체디스플레이기술학회지 8(1):7~12

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이 논문의 저자 정보

Kim, Hyung-Taek

소속기관 Department of Advanced Materials Engineering, Incheon National University

주요연구분야 공학 > 컴퓨터학

논문수 5 이용수 12

Cho, Han-Ho

소속기관 Dept. of Advanced Materials Science and Engineering, Incheon National University

주요연구분야 공학 > 컴퓨터학

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