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박병준 (부산대학교) 이동환 (부산대학교) 김현진 (부산대학교) 이다솔 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2018.10
수록면
155 - 155 (1page)

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2019

CMP 연마 패드의 점탄성 거동에 관한 연구
박병준 기계공학부 2019.01 학위논문

2018

CMP 연마패드의 동적 점탄성의 측정과 유한요소해석
박병준 ,  이동환 ,  김현진 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료
CMP 중 연마 패드와 백킹 필름사이의 상대 점탄성에 따른 압력 불균일도
박병준 ,  정선호 ,  김현진 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

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#Chemical mechanical planarization #Finite element analysis #Viscoelasticity #Dynamic material properties

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FEM(Finite Element Method)를 이용한 CMP(Chemical Mechanical Process) 공정 시뮬레이션과 Run-to-Run 제어 기법에 관한 연구
박정술 ,  박승환 ,  백준걸 외 1명 한국경영과학회 학술대회논문집 2009 .05
패드의 점탄성 거동이 마이크로 패턴 CMP 연마 특성에 미치는 영향
장수천 ,  정해도 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .10
Roll-CMP 공정에서 연질패드의 물성치가 연마율과 연마 불균일도에 미치는 영향
왕함 ,  이현섭 ,  이호준 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2014 .04
CMP공정에서 웨이퍼-패드의 실접촉면적 분포에 관한 연구
이창석 ,  이호준 ,  신운기 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .11

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