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저자정보
김은미 (성균관대학교) 큐보라 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2020년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2020.6
수록면
315 - 318 (4page)

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In this study, we investigate micro-particle deposition on the glass substrate for Automatic Optical Inspection (AOI) testing. For this purpose about 0.5 ㎛, 1 ㎛, 2 ㎛ particles, deposition experiments were performed using Aerosol Sampler (TSI 3089). And number of deposition particles on the glass substrate were confirmed using FE-SEM and AOI system. We investigated the particle deposition efficiency. From these, the correlation between the voltage and flow rate and particle deposition was explored. And also particle trajectory was performed using Discrete Phase Model by CFD (Ansys, fluent). From these results, the correlation between the voltage and flow rate and particle deposition was explored. There are several deposition conditions and we can fabricate standard contamination glass. Finally, we can evaluate AOI performance.
#Particle deposition(파티클 데포지션) #Standard contamination(표준 오염) #Defect detection(결함 검출) #AOI(자동광학검사) #Display(디스플레이) #Glass wafer(글래스 웨이퍼)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. 결론
References

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