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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 42 - 42 (1page)
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We compared the relative moisture between N<sub>2</sub> purge and rough pumping through a residual gas analyzer with the visual inspection on the condensation at LN<sub>2</sub> supply line equipped in cryogenic test system. LN<sub>2</sub> supply line is located at the center of system. And, its inside is vacuum space. We m ... 전체 초록 보기
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