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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김송길 (부산대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제5호
발행연도
2020.1
수록면
360 - 366 (7page)

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전자현미경에서의 높은 에너지로 가속된 집속된 전자빔은 고분해능의 나노소재 이미징과 다중모드 나노가공 공정에 다양하게 사용된다. 집속된 전자빔 이용 공정은 원자 단위부터 나노단위의 높은 분해능과 제어성을 바탕으로, 그래핀 기반 전계효과 트랜지스터 (field-effect transistor) 특성의 초정밀 제어를 가능하게 한다. 본 연구에서는, 집속된 전자빔 조사를 통한 그래핀의 특성 변화와 이를 통한 그래핀 기반 트랜지스터의 전기적 특성 변화에 대한 연구 결과를 제시한다.

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