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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.1
- 수록면
- 92 - 97 (6page)
- DOI
- 10.5762/KAIS.2022.23.1.92
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마이크로 전자장치에 대한 수요가 증가함에 따라 on-chip 공정이 적용된 마이크로 배터리와 고감도 전기화학 나노센서의 개발이 요구되고 있다. 단위 체적당 표면적 비율이 높은 3차원 나노구조물은 고성능 마이크로 배터리와 우수한 성능을 갖는 화학센서에 적용되어왔다. 본 연구에서는 단위 체적당 표면적 비율이 높은 3D α-MoO₃ nanowalls을 자기조립적 성장 메커니즘이 적용된 RF 마그네트론 스퍼터링 공정으로 제작하였다. 스퍼터링된 나노구조물의 표면형상을 전계방출형 주사전자현미경으로 분석하였고, 결정학적 특성을 Raman 분광학 및 X선 회절법(XRD)으로 분석하였다. 연구결과, 40 W 상온에서 증착된 나노구조물은 layer-by-layer 성장모드에 의한 2D 박막이었다. 반면에 120 W 200 oC에서 스퍼터링된 나노구조물은 3D island 성장모드에 의한 3D nanowalls이었다. Raman 분광학 분석과 XRD 분석 결과, 증착된 2D 박막과 3D nanowalls은 모두 orthorhombic MoO₃(α-MoO₃) 상을 가지고 있었다. 높은 표면적 특성을 갖는 3D α-MoO₃ nanowalls은 고성능 마이크로 배터리 및 화학센서의 제작에 응용될 수 있을 것으로 기대된다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
Q. Xia, Q. Zhang, S. Sun, F. Hussain, C. Zhang et al, “Tunnel Intergrowth LixMnO2 Nanosheet Arrays as 3D Cathode for High-Performance All-Solid-State Thin Film Lithium Microbatteries”, Advanced Materials , Vol. 33, No. 2003524, December 2020. DOI: https://doi.org/10.1002/adma.202003524
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B. G. Rani, S. Saisri, S. Kailasa, M. S. B. Reddy, H. Maseed et al, “Architectureal tailoring of orthorhombic MoO3 nanostructures toward efficient NO2 gas sensing”, Journal of Materials Science , Vol. 55, pp. 8109-8122, April 2020. DOI: https://doi.org/10.1007/s10853-020-04601-x
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