메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
박병훈 (동아대학교) 이현섭 (동아대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회
발행연도
2021.10
수록면
171 - 171 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2024

CMP 패드 컨디셔닝에서 딥러닝을 활용한 컨디셔너 스윙에 따른 패드 마모 프로파일에 관한 연구
박병훈 ,  황해성 ,  이현섭 Tribology and Lubricants 2024.04 학술저널

2022

인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수에 따른 컨디셔닝 밀도의 불균일도 분석
박병훈 ,  이현섭 Tribology and Lubricants 2022.08 학술저널
패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구
박병훈 ,  박범영 ,  전언찬 외 1명 Tribology and Lubricants 2022.02 학술저널

2021

CMP 컨디셔닝 시스템 설계변수에 따른 패드 마모 프로파일 연구
박병훈 ,  이현섭 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021.10 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
화학적 기계 평탄화(Chemical Mechanical Polishing; CMP) 공정은 특정한 화학 반응 하에서 연마 패드(Polishing pad)와 기판 표면 사이의 기계적 마찰을 통해 표면을 평탄화시키는 반도체 공정 중 하나이다. CMP 공정 중에는 반복적인 공정으로 연마 생성물에 의한 눈메움 현상(Glazing)이 발생하여 연마 품질이 급격히 저하되는 현상을 방지하기 위해 연마 패드의 컨디셔닝(Conditioning)을 적용하고 있다. 그러나 컨디셔닝 공정에서는 다이아몬드 입자가 전착된 디스크 ... 전체 초록 보기
#Chemical mechanical polishing(CMP) #Conditioning system #Pad wear profile

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Prediction of CMP Material Removal Rate based on Pad Surface Roughness Using Deep Neural Network
정종민 ,  정선호 ,  신영일 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2023 .01

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0