Characteristics of ITO/Ag/ITO Hybrid Layers Prepared by Magnetron Sputtering for Transparent Film Heaters

Jaeyeon Kim; Seohan Kim; Seonghwan Yoon; Pung Keun Song

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자료유형: 학술저널

저자정보: Jaeyeon Kim Seohan Kim Seonghwan Yoon Pung Keun Song

저널정보: 한국광학회 Current Optics and Photonics Journal of the Optical Society of Korea Vol.20 No.6

발행연도: 2016.12

수록면: 807 - 812 (6page)

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Transparent film heaters (TFHs) based on Joule heating are currently an active research area. However,TFHs based on an indium tin oxide (ITO) monolayer have a number of problems. For example, heatingis concentrated in only part of the device. Also, heating efficiency is low because it has high sheet resistance(Rs). To address these problems, this study introduced hybrid layers of ITO/Ag/ITO deposited by magnetronsputtering, and the electrical, optical, and thermal properties were estimated for various thicknesses of themetal interlayer. The Rs of ITO(40)/Ag/ITO(40 nm) hybrid TFHs were 5.33, 3.29 and 2.15 Ω/□ for Agthicknesses of 10, 15, and 20 nm, respectively, while the Rs of an ITO monolayer (95 nm) was 59.58Ω/□. The maximum temperatures of these hybrid TFHs were 92, 131, and 145°C, respectively, under avoltage of 3 V. And that of the ITO monolayer was only 32°C. For the same total thickness of 95 nm,the heat generation rate (HGR) of the hybrid produced a temperature approximately 100°C higher thanthe ITO monolayer. It was confirmed that the film with the lowest Rs of the samples had the highestHGR for the same applied voltage. Overall, hybrid layers of ITO/Ag/ITO showed excellent performancefor HGR, uniformity of heat distribution, and thermal response time.

#Hybrid layer #Indium tin oxide #Infrared camera #Transparent conductive oxide #Transparent film heater

참고문헌 (23)

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S. H. Cho / 2014 / Influence of the tin concentration in indium tin oxide (ITO) films deposited by DC magnetron sputtering for touch panels / J. Nanoeletron. Optoe 9:1~5

M. Girtan / 2012 / Comparison of ITO/metal/ITO and ZnO/metal/ZnO characteristics as transparent electrodes for third generation solar cells / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 100:153~161

P. K. Song / 1998 / Study on crystallinity of tin-doped indium oxide films deposited by DC magnetron sputtering / Jpn. J. Appl. Phys 37:1870~1876

C. G. Granqvist / 2003 / Solar energy materials / Advanced Materials 15:1789~1803

H. G. Cheong / 2015 / Highly flexible transparent thin film heaters based on silver nanowires and aluminum zinc oxides / Thin Solid Films 589:633~641

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