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김현규 (전북대학교) 오세인 (전북대학교) 남은서 (전북대학교) 허찬 (전북대학교) 황해철 (전북대학교) 설유진 (전북대학교) 김기현 (전북대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2023년도 대한전자공학회 하계학술대회 논문집
발행연도
2023.6
수록면
619 - 622 (4page)

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In this work, gas response of Zinc oxide (ZnO)/Si heterojunction gas sensor was analyzed using 3D TCAD simulation. Gas sensing event was simply modeled using a negative fixed charge and the target gas was assumed as hydrogen gas. The ZnO/Si heterojunction gas sensor exhibits improved gas response than the pristine Si pn junction based sensor. The improved gas response is ascribed by collecting electrons, generated by redox reaction at the ZnO and the pn junction, at the ZnO/Si hetero interface. This study will be helpful to understand gas-sensing mechanism of ZnO/Si heterojunction gas sensor.

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
참고문헌

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