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저자정보
Byeonghyeon Min (University of Science and Technology) SungKyu Lim (Korea Research Institute of Standards and Science) Jihun Mun (National Nano Fab Center) Sang-Woo Kang (University of Science and Technology)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.33 No.6
발행연도
2024.11
수록면
176 - 180 (5page)

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With advancements in semiconductor miniaturization technology, manufacturing productivity has become increasingly crucial, and this pro- ductivity is greatly influenced by the performance of vacuum pumps used to create a vacuum environment. In particular, the turbo molecular pump (TMP) is a key component for establishing high vacuum environments. Its performance significantly affects productivity, leading to the establishment of standard evaluation procedures. However, existing procedures only cover general evaluation protocols and research on the impact of measurement device errors and outliers on performance metrics has been insufficient. In this study, we evaluated the influence of corrected values and outliers from measurement devices on the calculation of pumping speed and the ultimate pressure of the pump. A test chamber was fabricated following standard procedures and the performance of a commercial TMP was evaluated. When applying the corrected pressure value, we also used the interquartile range method to remove local anomalous data. As a result, the pumping speed and ultimate pressure were calculated as 3,903 L/s and 2.19 × 10<sup>−9</sup> mbar, respectively. With the uncorrected calculation results having values of 4,392 L/s and 1.83 × 10<sup>−9</sup> mbar, there was a difference of approximately 12 % between the corrected and uncorrected calculations. This study confirms that pressure correction and outlier detection are critical factors for accurately evaluating pump performance.
#Pumping performance #Turbo molecular pump #Vacuum gauge correction #Anomaly detection

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Experimental details
3. Results and discussion
4. Conclusions
References

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