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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.4
- 수록면
- 77 - 77 (1page)
이용수
초록· 키워드
Bio-inspired dry adhesives have a strong potential in precision industries such as semiconductor or display factories, where clean and residue-free transportation of fragile silicon or glass substrates is required during the product-assembly process. During the assembly process of semiconductor or display devices, silicon wafer or glass substrates, which are usually very thin, large and fragile, should be carefully manipulated with high accuracy. Moreover, there should be no surface contamination on the substrates. In this manner, dry adhesive technology has strong potentials to replace existing techniques such as vacuum suction or electrostatic chucks since dry adhes ... 전체 초록 보기
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