Characteristics of trace of Sn-doped IZO thin films deposited by DC magnetron sputtering using single target

Q: 이 논문에서 정의한 투명 전도성 산화물(TCOs)이란 무엇인가?

투명 전도성 산화물(TCOs)은 높은 전도성과 가시광선 영역에서 우수한 투과율을 가지는 박막으로, 평판 디스플레이, 플렉서블 디스플레이, 태양 전지 등 다양한 광전자 소자의 투명 전극으로 널리 활용되는 재료이다.

Q: 미량의 Sn이 도핑된 IZO 박막의 특성은 무엇인가?

연구 결과, 미량의 Sn(800 ppm, 1200 ppm, 2000 ppm의 SnO2)이 도핑된 IZO 박막은 DC 마그네트론 스퍼터링으로 증착 후 다양한 온도에서 후열처리 과정을 거쳐 전기적, 광학적, 기계적 특성 및 고온 내구성이 평가되었다.

Hyun-Jun Lee; Pung-Keun Song

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Hyun-Jun Lee (Pusan National University) Pung-Keun Song (Pusan National University)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 ICSE 2013

발행연도: 2013.11

수록면: 308 - 309 (2page)

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Transparent conductive oxides (TCOs) films, having high conductivity and transmittance in the visible light region, have been widely used in optoelectronics devices, such as transparent electrodes in flat panel displays (FPDs), flexible displays, and solar cells. The TCOs most widely used for applications are crystalline indium tin oxide (c-ITO), amorphous indium tin oxide (a-ITO), and amorphous indium zinc oxide (a-IZO). Presently, c-ITO deposited onto substrates heated to 250-350°C offers the lowest resistivity currently available (1-3 x 10^-4 Ω·cm) [1]. However, c-ITO films have significant problems, such as poor surface uniformity, poor mechanical properties, and low etching rate in applications. Although amorphous TCOs (a-TCOs) have slightly inferior electrical property, it also have practical advantages in FPDs and flexible displays, such as high etching rate, good patterning property, smooth surface morphology, and low internal stress com ... 전체 초록 보기

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