㎔ 대역 소자의 개발 동향 및 MEMS 기술의 접목

MEMS 기술을 이용한 미세 광학 시스템으로, 광학 신호의 측정 및 제어에 사용되는 기술이다. 이는 광통신과 바이오포토닉스 등 다양한 분야에 적용되며, 미세 기전 시스템의 공정 기술을 광학적 응용으로 확장한 개념이다.

연구 결과, MEMS 기술은 THz 소자의 안정화, 소형화 및 경량화를 가능하게 한다. 이를 통해 초소형 고성능 THz 소자 개발이 가능해지며, 결과적으로 THz 기반 바이오센서 및 이미징 시스템 기술 확보에 핵심적인 역할을 수행한다.

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