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초록·키워드
반도체 공정은 다른 제조업 분야 공정에 비해 공정 혁신 주기가 상대적으로 짧고, 복잡도가 매우 높아 전체적인 관점에서의 공정 흐름 파악 및 최적화에 어려움이 존재한다. 최근 들어, 반도체 공정에서 발생하는 막대한 양의 데이터의 활용성이 증가하면서 공정을 개선하고 최적화할 수 있는 새로운 기회가 등장하고 있다. 프로세스 마이닝은 일련의 프로세스 이벤트 데이터를 기반으로 복잡한 프로세스를 효과적으로 시각화하고 분석하는 데 도움을 주는 방법론으로, 제조업 분야로 응용 범위가 확장되고 있다. 본 연구는 제조업 분야의 프로세스 마이닝 적용 현황 및 이슈를 파악하여 반도체 공정에서의 적용 시 기대 효과 및 이슈를 제시하고자 한다.
본문·목차
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-530-000803341
