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(포항공과대학교) (포항공과대학교) (한양대학교) (포항공과대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2017년 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 [3개 학회 공동주최]
발행연도
수록면
2,895 - 2,902 (8page)

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초록· 키워드

반도체 공정은 다른 제조업 분야 공정에 비해 공정 혁신 주기가 상대적으로 짧고, 복잡도가 매우 높아 전체적인 관점에서의 공정 흐름 파악 및 최적화에 어려움이 존재한다. 최근 들어, 반도체 공정에서 발생하는 막대한 양의 데이터의 활용성이 증가하면서 공정을 개선하고 최적화할 수 있는 새로운 기회가 등장하고 있다. 프로세스 마이닝은 일련의 프로세스 이벤트 데이터를 기반으로 복잡한 프로세스를 효과적으로 시각화하고 분석하는 데 도움을 주는 방법론으로, 제조업 분야로 응용 범위가 확장되고 있다. 본 연구는 제조업 분야의 프로세스 마이닝 적용 현황 및 이슈를 파악하여 반도체 공정에서의 적용 시 기대 효과 및 이슈를 제시하고자 한다.
#제조 공정 #반도체 공정 #프로세스 마이닝
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목차

  1. Abstract
  2. 1. 서론
  3. 2. 제조업 분야에서의 프로세스 마이닝 적용 현황
  4. 3. 반도체 공정으로의 프로세스 마이닝 적용
  5. 4. 결론 및 제언
  6. 참고 문헌

참고문헌

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