인문학
사회과학
자연과학
공학
의약학
농수해양학
예술체육학
복합학
DBpia AI
AI 에이전트
AI 아이디어
AI 리더
AI 뷰어
Citeasy
크롬 서지관리 다운로드
개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 저자정보
피인용 0
초록·키워드
The purpose of this review paper is to highlight recent efforts and achievements to realize high productivity of micro/nano structure fabrication processes and feasible applications. Due to development in micro/nano fabrication processes, demands on micro/nano related applications are increasing rapidly in various fields. To meet requirements, fabrication process must have high production yield and be automated. Also, fabricated micro/nano structures are expressed on large area substrate. So, it is timely and appropriate to move forward to a new epoch by researching more robust and high throughput fabrication methods, large area fabrication techniques, and new applications. In this review paper, we present a series of recent achievements to overcome some of the limitations in productivity and product size of current fabrication processes, such as photolithography and imprinting lithography. For potential applications, transparent metal electrode, large size optical film, bus wire for narrow bezel, and water collecting surface, are briefly described to expand the application field from the well-known.
본문·목차
인공지능 문자 인식 모델을 통해 추출된 텍스트로, 일부 오타나 오류가 포함될 수 있으나 지속적으로 개선 중입니다.
오류를 발견하셨다면 해당 부분을 드래그한 후 ' 를 통해 신고해주세요.
오류를 발견하셨다면 해당 부분을 드래그한 후 ' 를 통해 신고해주세요.
최근 본 자료 전체보기
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-555-000062269
