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초록·키워드
본 연구는 다공성 구조를 가진 평면 홀 자기저항(PHMR) 센서의 패턴에 따른 출력 특성을 분석하였다. 다공성 패턴의 영향을 평가하기 위해 N iFe/IrM n 이중층 구조의 PHMR 센서에 직교 배열과 대각선 배열의 다공성 패턴 구조를 구현하고, 전류 밀도 분포 및 센서의 출력 신호를 분석하였다. 또한, 전류 분포의 왜곡을 최소화하기 위해 다이아몬드 형태의 다공성 패턴을 적용하여 휘스톤브릿지 배열의 다공성 구조에서 선폭과 길이의 비율이 센서 출력 신호에 미치는 영향을 규명하였다. 다공성 패턴 기반 PHMR 센서는 비다공성 센서에 비해서 높은 출력 신호를 나타내었으며, 이는 다공성 기판을 활용한 센서 설계 및 성능 향상에 중요한 기초 데이터를 제공할 것으로 기대된다.
본문·목차
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