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초록·키워드
극도로 얇고 전도도가 낮은 재료의 코팅을 마이크로 스케일에서 특성화하려면 고감도 비파괴 검사 기술이 필요하다. 와전류 테스트는 전자기 유도를 사용하여 전도성 재료의 표면과 표면 아래를 검사하는 비파괴 테스트 분야이다. 본 논문에서는 핵연료봉의 20마이크론(μm) 미만 박막 크롬 코팅층의 두께를 측정하는 와전류 센서를 개발하여 테스트하였다. 두께 측정 해상도를 높이기 위해 센서 설계를 최적화하였다. 특히, 프로브 차폐가 두께 측정에 미치는 영향을 평가하기 위해 비교 연구를 통해 차폐의 영향을 조사하였다. 실험 결과, 크롬 두께 검사에서 페라이트 차폐의 이점이 있는 것으로 나타났다. 차폐 프로브를 사용하여 반복성 및 재현성에 대한 추가 연구를 수행하였다. 크롬 코팅 두께 측정의 높은 해상도와 작은 변화는 프로브가 최종 인라인 검사 시스템으로 사용될 수 있음을 보여준다.
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