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초록·키워드
전 세계적인 탄소중립 추진과 기후위기 대응 노력 속에서 반도체·디스플레이 제조 공정에서 발생하는 PFCs(CF₄, SF<sub>6</sub>, NF₃ 등)는 GWP가 6,000 ~ 25,000로 주목받고 있다. PFCs 가스는 안정적인 화학 구조로 인해 분해가 어렵고, 기존 처리기술은 고온 조건, 2차 오염물질(HF, NOₓ, SOₓ 등) 발생 등의 한계를 가지고 있다. 본 연구는 γ-Al2O₃, Fe₂O₃, CaCO₃, fly ash 등의 촉매 및 흡착제를 활용해 500 ~ 700℃, GHSV 3,800 cm³·g<sup>-3</sup>·h<sup>-1</sup> 조건에서 PFCs 분해 및 고정화 성능을 실험하였다. γ-Al₂O₃ + CaCO₃ (4:6) 혼합 성형제는 SF<sub>6</sub> 기준 95% 이상의 처리효율과 2차 오염물질 흡착고정성능을 확인하였으며 향후 친환경 저온 PFCs 처리기술로의 개발 가능성을 확인하였다.
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