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초록·키워드
본 연구에서는 inplane 터널링 자기저항 센서의 자유층으로 연구되고 있는 Ni<sub>80</sub>Fe<sub>20</sub>/Ru/Co<sub>20</sub>Fe<sub>60</sub>B<sub>20</sub> 구조에 대한 자성특성에 대하여 연구하였다. DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 Ta/Ru/Ta/Ru/Ta 버퍼층 위에 Ni<sub>80</sub>Fe<sub>20</sub> (70 nm)/Ru (t<sub>Ru</sub> nm)/
Co<sub>20</sub>Fe<sub>60</sub>B<sub>20</sub> (3 nm)구조의 자성박막을 제작하였다. t<sub>Ru</sub> = 0.3, 0.9 nm에서 방위각을 바꾸어 가면서 광자기커효과(Magneto-optical Kerr effect, MOKE)실험을 통하여 자기이력곡선을 확인하였고, t<sub>Ru</sub>는 0.3~2.6 nm 범위에서 MOKE 실험을 수행하여 Ruderman-Kittel-Kasuya-Yosida 상호작용의 특성을 확인하였다. 첫번째 반강자성특성이 나타나는 Ru의 두께는 0.9 nm이고, 두 번째 반주기는 2.0 nm이다. 또한 외부 자기장을 인가하면서 열처리를 하여 열처리에 따른 자기 이방성 축의 변화를 확인하였다.
Co<sub>20</sub>Fe<sub>60</sub>B<sub>20</sub> (3 nm)구조의 자성박막을 제작하였다. t<sub>Ru</sub> = 0.3, 0.9 nm에서 방위각을 바꾸어 가면서 광자기커효과(Magneto-optical Kerr effect, MOKE)실험을 통하여 자기이력곡선을 확인하였고, t<sub>Ru</sub>는 0.3~2.6 nm 범위에서 MOKE 실험을 수행하여 Ruderman-Kittel-Kasuya-Yosida 상호작용의 특성을 확인하였다. 첫번째 반강자성특성이 나타나는 Ru의 두께는 0.9 nm이고, 두 번째 반주기는 2.0 nm이다. 또한 외부 자기장을 인가하면서 열처리를 하여 열처리에 따른 자기 이방성 축의 변화를 확인하였다.
본문·목차
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