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초록·키워드
With the increased demand for high-performance semiconductors nowadays, electrical variable capacitor (EVC) circuits have attracted growing attention for advanced semiconductor processes. However, the conventional EVC circuit requires a large filter inductor L<sub>f</sub>, which hinders fast capacitance adjustment. A new EVC circuit with fast capacitance adjustment speed is proposed to address this issue. The proposed EVC circuit enables the use of a smaller L<sub>f</sub> by rearranging the switching diode D<sub>sw</sub> and the variable capacitor C<sub>var</sub> and adding a shunt inductor L<sub>s</sub>, thereby achieving faster capacitance adjustment and reduced volume. A 300 W prototype was tested to validate the feasibility of the proposed EVC circuit.
본문·목차
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