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초록·키워드
MEMS technology has been extensively used in various applications since its development. One of the common applications is an inertial sensor. Growing popularity of MEMS inertial sensors is due to the sensor’s miniature size and economic cost. On the other hands, a low bias stability and a strong temperature characteristic of MEMS based product affect the accuracy of the data output. This is fatal to the applications that require high accuracy because even a small margin of the error could accumulate and lead to the utter failure in the application’s performance; therefore, it is necessary to control or compensate the sensor’s bias and scale factors. Measurement based correction requires a large amount of human work and a time consuming observation. This document presents a framework for the automation of the conventional correction. For the automation, the rate table control software and the software for data collection and analysis have been developed. With the implementation, the speed of overall process was upgraded by using default reference values to correct bias and scale factors. This automatic test technique expects to increase overall testing efficiency by conserving time and human work while increasing an accuracy of the result.
본문·목차
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