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초록·키워드
The elastic material constants, stiffness constants (c<SUB>11</SUB>, c<SUB>12</SUB>, and c<SUB>44</SUB>), are three unique coefficients that establish the relation between stress and strain. Accurate knowledge of mechanical properties and the stiffness coefficients for silicon is required for design of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) devices for proper modeling of stress and strain in electronic packaging. In this work, the stiffness coefficients for silicon as a function of temperature from -150℃ to +25℃ have been extracted by using the experimental measurements of Poisson’s ratio (n) of silicon in several directions.
본문·목차
인공지능 문자 인식 모델을 통해 추출된 텍스트로, 일부 오타나 오류가 포함될 수 있으나 지속적으로 개선 중입니다.
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