저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드

#3D printing (3D 프린팅)

#3D printing material (3D 프린팅 소재)

#abrasive wear(연삭 마멸)

#ABS-Like resin (ABS 유사 수지)

#ABS-like resin (ABS-like 레진)

#Adhesive wear (응착 마멸)

#Aluminum (알루미늄)

#Boil-off gas(증발가스)

#Brush rotation speed(브러쉬 회전 속도)

#Ceria slurry

#Chelating agent (착화제)

#Chemical mechanical planarization

#Chemical mechanical planarization(화학기계적 평탄화)

#Chemical mechanical polishing (화학적 기계적 연마)

#Chemical mechanical polishing (CMP)

#chemical mechanical polishing(화학기계연마)

#chemical mechanical polishing(화학기계적 연마)

#CMP

#coefficient of friction(마찰계수)

#contact Stiffness(접촉강성)

#Deformed public transportation handle

#Dry friction (건식 마찰)

#Electrochemical analysis (전기화학분석)

#Electrochemical mechanical planarization(전기화학-기계적 평탄화)

#Flow velocity(유속)

#Fluid pressure(유체압력)

#Friction (마찰)

#Friction force (마찰력)

#friction force(마찰)

#friction force(마찰력)

#gallium nitride(질화갈륨)

#Glossiness (광택도)

#Injection

#Intermolecular interaction(분자 간 상호작용)

#Liquid hydrogen(액체수소)

#monitoring(모니터링)

#Multi-phase fluid flow analysis(다상 열유동해석)

#Oxidizer (산화제)

#Pad wear

#pad(패드)

#Phase change model(상변화 모델)

#Polishing (연마)

#Polishing pad

#Polyethylene terephthalate glycol (폴리에틸렌 테레프탈레이트 글리콜)

#Polylactic acid (폴리젖산)

#Post-CMP cleaning(CMP 후 세정)

#real area of contact(실접촉면적)

#Research trend(연구동향)

#sapphire(사파이어)

#silicon carbide(탄화규소)

#Slurry distribution

#Slurry thickness

#slurry(슬러리)

#stick-slip(스틱-슬립)

#Storage vessel(저장용기)

#Surface roughness (표면 거칠기)

#Temperature

#Temperature (온도)

#tribology(트라이볼로지)

#Viscoelastic

#Wafer rotation speed(웨이퍼 회전 속도)

#Wear (마모)

#wear(마모)