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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제39권 제9호
발행연도
2002.9
수록면
11 - 18 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2002

산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제작된 에어브리지를 가진 CPW Phase Shifter와 Shunt Stub
심준환 ,  박동국 ,  강인호 외 5명 전자공학회논문지-SD 2002.09 학술저널
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심준환 ,  박동국 ,  강인호 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2002.07 학술대회자료
산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제작된 MMIC용 Air-Bridge Interconnected Coplanar Waveguides
심준환 ,  권재우 ,  박정용 외 4명 전자공학회논문지-SD 2002.04 학술저널

초록· 키워드

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본 논문에서는 표면 마이크로머시닝을 사용하여 10 ㎛ 두께의 다공질 실리콘 산화막으로 제조된 기판 위에 에어브리지를 가진 CPW phase shifter와 shunt stub을 제작하였다. CPW phase shifter의 크기는 S-W-Sg = 100-30-400 ㎛.로 설계되었다. "ㄷ" 모양을 가진 에어브리지의 폭은 100 ㎛, 길이는 400-460-400 ㎛ 이다. 낮은 손실을 얻기 위하여, step 된 에어브리지를 가진 CPW phase shifter가 제안되었다. Step된 에어브리지를 가진 구조가 step이 없는 에어브리지를 가진 구조보다 삽입손실이 보다 더 향상되었다. 제작된 CPW phase shifter의 위상특성은 28 ㎓의 넓은 주파수 범위에서 180°의 천이를 나타내었다. 그리고 short-end series stub의 동작주파수는 28.7 ㎓이며, 반사손실은 - 20 ㏈를 나타내었다. 또한 short-end shunt stub의 동작주파수는 28.9 ㎓이며, 반사손실은 - 23 ㏈를 나타내었다. 이상의 결과에서 중앙 전송선에 설계된 stub은 크기 감소로 고 밀도 칩 레이아웃을 이끌 수 있는 장점을 가진다.

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