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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
87 - 90 (4page)

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An experimental investigation of the basic characteristics of a micro-cantilever sensor was performed by inspecting the amplitude and frequency characteristics using a commercial tuning fork. Application of acetone and ethanol with a volume of 1 μl on the tine of a vibrating tuning fork cause immediate response in its amplitude and frequency. It has shown that the tuning fork has ability to recognize a chemical agent with high sensitivity.
#Sensor #Tuning fork #micro-cantilever #MEMS

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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