DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 AZO 박막의 특성

박이섭 ,  이승호 ,  송풍근

한국표면공학회지

2007 .06

Characterization of ZnO:Al(AZO) Transparent Conduction Film produced by DC Magnetron Sputtering Method

Koo ,  Hong-Mo ,  Kim 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

High performance thin film transistor with ZnO channel layer deposited by DC magnetron sputtering

Moon ,  Yeon-Keon ,  Moon 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

Preparation and Characterization of Cerium-doped ITO Films Deposited by DC Magnetron Sputtering

Se Il Kim ,  Sang Hyun Cho ,  Jin Ho Lee 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

ZnO nanorod and nanoneedle prepared by direct current magnetron sputtering

Kim ,  In-June ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Dependence of the Characteristics of the Lab6 Films on the Dc Magnetron Sputtering Power

Jing Xu ,  Guanghui Min ,  XiaOhua Zhao 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질

이종화 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering

Min-Seung Choi ,  Dong-Ho Kim ,  Pung-Keun Song

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Electrical mechanism analysis of Al₂O₃ doped zinc oxide thin films deposited by rotating cylindrical DC magnetron sputtering

장주연 ,  박형식 ,  안시현 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

Al-doped ZnO 투명 전도성 박막(TCO)의 전기적 광학적 특성

홍윤정 ,  이규만 ,  김인우

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

DC 마그네트론 스터링법을 이용하여 증착한 Ga, Al, In 첨가 ZnO 박막의 특성

박상은 ,  박세훈 ,  Lue jie 외 1명

한국표면공학회지

2008 .08

Characteristics of AZO Thin Film using RF and ICP power at Facing Magnetron Sputtering System

Hye Ran Kim ,  Jay Bum Kim ,  Long Wen 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성

김성한 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

Characteristics of trace of Sn-doped IZO thin films deposited by DC magnetron sputtering using single target

Hyun-Jun Lee ,  Pung-Keun Song

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Jung-hyo Kim ,  Byung-Chul Cha ,  Keun-Hak Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11