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A microstructure array has been proposed for micro plasma generation using electroplating and double exposed process. A stable atmospheric plasma has been generated at a low voltage by utilizing the micro electrode gap. Self-aligned microstructure can provide uniform electrode overlap with precisely controlled gap between the electrodes. The proposed structure allows for triode operation, which can expand the generated plasma over a large area by applying a lateral electric field. Electrical characteristics of the micro triode confirm the large numbers of the plasma ions are drifted to the secondary cathode by the lateral electrical field.
목차
Abstract
1. 서론
2. 소자 제작 방법
3. 플라즈마 발생 실험
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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참고문헌 (5)
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1. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Micro-structured electrode arrays : atmospheric pressure plasma processes and applications
2. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Study of Micro glow discharges as Ion Sources
3. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / 미소간극을 갖는 MEMS 방전 소자 제작 및 특성 연구 : 46 ~ 48
4. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / Microplasmas and applications
5. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Formation of large-volume, high-pressure plasmas in microhollow cathode discharge 82 (19)
2. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Study of Micro glow discharges as Ion Sources
3. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / 미소간극을 갖는 MEMS 방전 소자 제작 및 특성 연구 : 46 ~ 48
4. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / Microplasmas and applications
5. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Formation of large-volume, high-pressure plasmas in microhollow cathode discharge 82 (19)
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