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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.2
발행연도
2010.2
수록면
34 - 39 (6page)

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In order to achieve and maintain dimensional accuracy in laser micro-machining, dominant parameters such as laser power and laser focus position need to be monitored and controlled real time. Also, in order to selectively machine multi-layered materials, the material being presently machined need to be recognized. This paper presents an auto-focusing (AF) module to keep laser focus on a large-area surface; a real-time laser power stabilizing module based on optical attenuation; and a laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS) module. With these monitoring modules, position error in laser focus on a 4” silicon wafer was kept below 4㎛, initially 51㎛, and laser power stability of a UV laser source was improved from 1.6% to 0.3%. Also, the material transition from polyimide to copper in machining of FCCL (flexible copper clad laminate) was successfully observed.
#Auto-focusing (자동초점정렬) #Laser Power Stabilization (레이저 출력 안정화) #Laser Induced Breakdown Spectroscopy (레이저 유도 분광)

목차

1. 서론
2. 자동초점정렬
3. 레이저 출력 안정화
4. 레이저 유도 분광
5. 결론
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