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이동하 (삼성전자공과대학교) 김동환 (삼성전자) 김효열 (삼성전자) 김경섭 (삼성전자)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
245 - 245 (1page)

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