Process Optimization of PECVD SiO2 Thin Film Using SiH4/O2 Gas Mixture

Tae-min Ha ,  Seungnam Son ,  Jun Yong Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

저압에서의 사일렌과 디사일렌의 열분해 반응에 관한 연구

한재현 ,  문상흡

Applied Science and Convergence Technology

1995 .12

Comparative simulation of microwave probes for plasma density measurement and its application

김대웅 ,  유신재 ,  김시준 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Characteristics of Oxide Films Deposited with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures From SiH₄-N₂O

강진규 ,  박영배 ,  이시우

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

Characterization of linear microwave plasma based on N2/SiH4/NH3 gases using fluid simulation

서권상 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Advanced Microwave Plasma Technology for Liquid Treatment

Hi ,  otaka Toyoda ,  T. Takahashi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

고밀도 유도 결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 개발

배상현 ,  권득철 ,  윤남식

Applied Science and Convergence Technology

2008 .09

Comparative Study on Microwave Probes for Plasma Density Measurement by FDTD Simulations

D. W. Kim ,  S. J. You ,  B. K. Na 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

평판형 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/H₂ 방전에 대한 공간 평균 전산모사

이원기 ,  권득철 ,  윤남식

Applied Science and Convergence Technology

2009 .11

Development of process plasma diagnosis and control system using plasma emission light diagnostics

Jin-Woo CHOI ,  Ye-Seul LEE ,  Tae-Hoon JO 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

SiH₄+H₂ 대한 플라즈마 장치의 수치 모델링

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Effects of Atmospheric Pressure Microwave Plasma on Surface of SUS304 Stainless Steel

H.K. Shin ,  H.C. Kwon ,  S.K. Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Characterization of linear microwave plasma according to conditions of TEM waveguide using fluid simulation

서권상 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Development of a microwave plasma source based on a resonance cavity

S. PARK ,  S. YOUN ,  J.W. YOON 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

PLASMA GENERATION IN A HIGH - TEMPERATURE GAS

Han S. Uhm

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Plasma surface treatment using dual microwave-excited atmospheric-pressure plasma jets

임대천 ,  최준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Deposition Mechanism of Tungsten thin Film in LPCVD System

김성훈 ,  송세안

Applied Science and Convergence Technology

1993 .09

Characteristics of Linear Microwave Plasma Using the Fluid Simulation and Langmuir Probe Diagnostics

서권상 ,  한문기 ,  윤용수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

A Novel Transmission line model of Cutoff Probe for precise measurement of high density plasma

김시준 ,  이장재 ,  김광기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02