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이용수
Abstract
1. INTRODUCTION
2. DESIGN AND FABRICATION OF X/Y-AXIS ACCELEROMETERS
3. MEASUREMENT RESULTS
4. CONCLUSIONS
5. ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES
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2001 .05
SOI웨이퍼의 마이크로가속도계 센서에 대한 열변형 유한요소해석
한국생산제조학회지
2002 .08
Wafer-level Hermetic Packaged Dual-axis Digital Microaccelerometer
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2006 .10
Extended Sacrificial Bulk Micromachining Process and Its Application to the Fabrication of X-axis Single-crystalline Silicon Micro-gyroscope
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2003 .10
A New Sacrificial Oxide Layer and Design Consideration for Micromachining
대한전자공학회 기타 간행물
1992 .01
A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes
KSME International Journal
1998 .12
접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Extended SBM공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 Z축 가속도계
센서학회지
2004 .01
A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS
Fabrication and Characterization of Advanced Materials
1995 .01
SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석
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2000 .05
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한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2000 .05
Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구
한국재료학회지
2004 .01
웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조
한국재료학회지
2005 .01
수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .11
실리콘 에피층을 이용한 자동차 에어백용 가속도계
한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집
1995 .06
SOI 웨이퍼를 이용한 압전박막공진기 제작
전기전자재료학회논문지
2002 .01
저전압동작에 적절한 SOI-like-bulk CMOS 구조에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
저전압동작에 적절한 SOi-Like-Bulk CMOS 구조에 관한 연구 ( A Study on SOi-like-bulk CMOS Structure Operating in Low Voltage with Stability )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect
한국공작기계학회지
2000 .12
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