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이용수
Abstract
1. INTRODUCTION
2. THE FRAME DESIGN FOR A NANO IMPRINTING SYSTEM
3. CAUSES OF THE MICROVIBRATION
5. CONCLUSION
REFERENCES
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CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
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2007 .10
CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
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2007 .10
나노 임프린팅 스테이지의 정렬제어 시 발생하는 진동해석
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2010 .11
CAE를 이용한 나노 임프린팅 공정 장비의 구조 및 기구동역학 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
유연성을 고려한 4축 나노임프린팅 스테이지의 동적 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
극초미세 형상 부품용 고온 나노 임프린팅 장비의 구조 변형 최소화 설계
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2007 .05
대면적의 나노 임프린트 공정 장비 개발
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2020 .06
지지방식의 차이에 따른 나노 임프린팅 스테이지의 진동 특성 비교
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
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한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
Roll to roll imprint 공정에서 나노-마이크로 패턴의 전사율 확인
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .04
나노 임프린트 장비를 위한 비젼 시스템의 미세진동 원인 분석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2008 .11
초정밀 가공 기계의 진동 특성 해석
산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소
1994 .01
초정밀 가공기를 위한 환경 제어용 셀에 관한 실험 및 해석적 연구
한국생산제조학회지
2013 .10
나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발
제어로봇시스템학회 논문지
2008 .04
Vibration characteristics of precision stage for laser drilling process
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
초정밀 가공기의 정밀도 향상을 위한 환경제어장치 개발연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
나노 기계시스템의 설계 및 구동
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .01
고종횡비의 색변환용 nano scale pattern을 가지는 대면적 (0.5㎡) Soft mold 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
나노모터를 이용한 초정밀 스테이지 설계
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
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