Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO₂/Ag/TiO₂ 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성

김성한 ,  김서한 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

The properties of nanocomposite Ti-Al-V-N coating synthesized by magnetron sputtering process with single composite target

문경일 ,  이한찬 ,  윤혜원 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES

Tae Hun Lim ,  Se Hwan Jang ,  Young-Joo Kim 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2020 .10

DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화

김재원 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계

고동우 ,  김재원 ,  장세환 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .12

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

디스플레이 제조용 DC Magnetron Sputter의 금속 박리 억제를 위한 Floating Mask 구조 설계

목진명 ,  장세환 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

스퍼터링으로 제작된 Ag-Ti 이중층 박막의 특성 평가

전지웅 ,  김정수 ,  유호준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

Control uniformity of plasma on target of DC magnetron sputter based on magnetic field simulation

Se-Hwan Jang ,  Sun Joo Pa ,  k 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

디스플레이용 DC Magnetron Sputter의 타겟 효율 향상을 위한 자기장 시뮬레이션 및 차폐체 배열 설계

장세환 ,  박선주 ,  이관용 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Development of target shortage alarm system using gas diffusion capsule for DC magnetron sputter

Sun-Joo Pa ,  k ,  Se-Hwan Jang 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

국부적인 자기장 제어를 통한 대면적 DC Magnetron Sputtering 의 플라즈마 고밀도 균일화

이형빈 ,  김나경 ,  김영주

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 소다라임 유리의 고투과 및 대전방지 박막특성 연구

정종국 ,  임실묵

한국표면공학회지

2022 .12

Improvement on Plasma Intensity Uniformity in Rectangular DC Magnetron Sputter by Optimizing Structures of Substrate Electrode

Dong-Woo Ko ,  Se-Hwan Jang ,  Jae-Hyun Kim 외 2명

한국생산제조학회지

2023 .04

Dependence of the Generation Behavior of Charged Nanoparticles and Ag Film Growth on Sputtering Power during DC Magnetron Sputtering

Gil Su Jang ,  Du Yun Kim ,  Nong-Moon Hwang

Electronic Materials Letters

2021 .01

증착 온도가 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 SnO₂:Eu³⁺ 박막의 특성에 미치는 영향

조신호

한국표면공학회지

2023 .06