300 mm 길이의 사파이어 단결정 대한 CZ 성장공정의 수치해석: Part II. Subgrain 결함이 없는 단결정 성장 길이의 예측

신호용; 홍수민; 윤종원; 정대용; 임종인

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자료유형: 학술저널

저자정보: 신호용 홍수민 윤종원 정대용 임종인

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제23권 제6호

발행연도: 2013.1

수록면: 272 - 278 (7page)

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본 논문에서는 CZ법으로 성장시킨 300 mm 사파이어 단결정의 c-축 변형 특성 및 내부 응력 상태를 수치해석하고, 사파이어 단결정에서 sub-grain 결함이 없는 성장 길이를 예측하였다. CZ 성장로의 hot zone 구조는 Ir 도가니 형상및 상부 단열재 추가 설치 등으로 변경하였다. 본 연구의 시뮬레이션 결과, hot zone 구조 변경에 의한 c-축 변형 차이는결정 내부에 sub-grain 결함 등이 내부에 생성되어 발생한다. Hot zone 구조 변경에 의해 sub-grain 결함이 없는 성장 길이를 기존 보다 최대 약 57 mm 정도 증가시킬 수 있을 것으로 예측되었다. 그리고 c-축 wafer에 대한 sub-grain 결함을 실험적으로 분석하고, 시뮬레이션 예측 결과와 잘 일치하고 있는 것을 확인하였다. 그 결과, CZ 공정을 이용해 약 250 mm까지sub-grain 결함이 없는 사파이어 결정을 성공적으로 성장시킬 수 있었다.

#Sapphire #Czochralski #Hot zone structure #c-Axis displacement #Sub-grain defect

참고문헌 (11)

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