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초록·키워드
Ruthenium nanocrystals were grown by PEALD using Ru(EtCp)₂ as precursor for nonvolatile memory applications. Maximum nanocrystal density of 2.5*10¹²㎝?², diameter of 2~4㎚ can be obtained. Charging characteristics of Ru nanocrystal structure has ... 전체 초록 보기
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