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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.7 No.4
- 발행연도
- 2006.10
- 수록면
- 3 - 7 (5page)
이용수
초록· 키워드
Confocal scanning microscopy is a measurement technique used to observe micrometer and sub-micrometer features due to its high resolution, nondestructive properties, and 3D surface profiling capabilities. The design, implementation, and performance test of a confocal scanning microscopy system are presented in this paper. A short-wavelength laser (405 ㎚) and an objective lens with a high numerical aperture (0.95) were used to achieve the desired high resolution, while the x-and y-axis scans were implemented using an acousto-optic deflector and galvanomirror, respectively. An objective lens with a piezo-actuator was used to scan the z-axis. A spatial resolution of less than 138 ㎚ was achieved, along with successful 3D surface reconstructions.
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목차
- 1. Introduction
- 2. Design Specifications
- 3. Design and Implementation of the Confocal Scanning Microscopy System
- 4. Performance Test of the Confocal Scanning Microscopy System
- 5. Conclusions
- ACKNOWLEDGEMENT
- REFERENCES
참고문헌
참고문헌 신청최근 본 자료
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016779903
