Laser CVD SiON막과 Si기판 계면특성의 퇴적조건 의존성 ( Dependence on Deposition Conditions of Interface Characteristics Between Laser CVD SiON Film and Si-Sub )

박지순 ,  박근영 ,  이계신 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성

권봉재 ,  박종욱 ,  천영일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

DLTS法에 의한 Laser CVD SiON 膜-si 系의 界面 特性

천영일 ,  김상욱 ,  이승환 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

The Characteristics of Laser-Induced CVD SiON Thin Films

Chang Duk Kim ,  Sang Woo Lee ,  Tae Hun Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Laser CVD SiON막의 막 형성 후 열처리 의존성

김창덕 ,  김인수 ,  고중혁 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

Laser CVD에 의한 poly-Si 막의 퇴적 및 Laser etching 특성

권경환 ,  김영훈 ,  신상우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )

천영일 ,  이계신 ,  이한신 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching

김영훈 ,  권경환 ,  김태훈 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method

成英權 ,  許允宗 ,  金鍾寬 외 2명

전기학회논문지

1993 .09

공정 Simulation에 의한 Laser CVD SiO₂막 형성 기구 규명에 관한 연구

신상우 ,  이상권 ,  김태훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

A Study of Deposition Mechanism of Laser CVD SiO2 Film

Jeong-MyeonSong ,  Yung-KwonSung ,  Byung-MooMoon

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2003 .01

Substrate Temperature Dependence of Microcrystalline Silicon Thin Films by Combinatorial CVD Deposition

Yeonwon Kim

한국표면공학회지

2015 .06

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

ALD로 증착시킨 $HfO_2$/SiON 게이트 유전물질의 특성

강문수 ,  김영배 ,  이태호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성

홍성훈 ,  류지호 ,  양지운 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Laser CVD SiN막의 전기적 특성

김용우 ,  김상욱 ,  박종욱 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

Enhancement of a-Si : H Solar Cell Characteristics by Hydrogen Treatment of P / I interface using Photo-CVD Method

장재훈 ,  임굉수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01