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이용수
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
Ⅴ. 참고문헌
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다층 구조 응용을 위한 SOG 막의 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
MEMS 응용을 위한 SOG 막의 특성 평가
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .11
점증적 정돈기법의 SOG를 이용한 개선된 세선화 알고리즘
한국정보과학회 학술발표논문집
2001 .04
Characteristics and Surface Treatments of Low-temperature Cured SOG Film for Plastic Electronics Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
이중 Al 배선을 위한 금속층간 SOG박모의 성형 ( Formation of SOG Film between Al Metal Layers for Double metal Process )
전자공학회논문지-A
1994 .08
알루미늄 희생층을 이용한 금속 구조물의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
SLS Crystallization Process Development for SOG device
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2004 .01
1.0μm CMOS SOG 로 구현한 직접 디지털 주파수합성기의 성능에 관한 고찰 ( A Study on the Direct Digital Frequency Synthesizer Implemented in the 1.0μm CMOS SOG and Its Performance )
전자공학회논문지-D
1997 .03
SOG(Sillicon On Glass)공정을 이용한 수평형 미소가속도계의 제작에 관한 연구
센서학회지
2004 .01
System Interface for SoG in LTPS TFT Process
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
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인포메이션 디스플레이
2004 .01
Quad-functional Built-in Test Circuit for DRAM-frame-memory Embedded SOG-LCD
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2008 .01
[연구논문]Spin-on Glass를 이용한 실리콘과 유리의 저온 접합 공정
대한용접·접합학회지
2005 .12
Silicon-on-glass 공정에서 접합력 균일도 향상을 위한 고정단 설계
대한기계학회 논문집 B권
2017 .06
폴리이미드 희생충을 이용한 마이크로 볼로미터의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
FLOWABLE SOG를 이용한 IMD Planarization
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
LTPS TFT의 특성이 SOG용 디지털/아날로그 회로에 미치는 영향
인포메이션 디스플레이
2005 .01
Hollow Structure에서의 희생층 평탄화 제작 공정
전기학회논문지 C
2004 .10
새로운 Pillar 제조 기법과 SOG etchback 평탄화 기법을 이용한 다층 배선기술
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
APPLICATION OF SLAG REFINING MECHANISM OF BORON TO THE DEVELOPMENT OF OPTIMAL SOG-SI MANUFACTURING PROCESS
AFORE
2012 .11
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