Ionic-liquid gating for determination of sodium ion (Na+) based on the anodization and deposition of ITO-FET

Q: 이 논문에서 정의한 ITO-FET이란 무엇인가?

인듐 주석 산화물 전계 효과 트랜지스터를 의미하며, 게이트 표면에 나트륨 이온 선택 막을 코팅하여 인체 혈액 및 세포외액에 존재하는 나트륨 이온을 민감하고 간단하게 검출할 수 있도록 제작된 의료용 센서다.

Q: ITO-FET 제작 방식에 따라 나트륨 이온 감지 성능은 어떻게 다른가?

연구 결과, 양극 산화 방식보다 RF 마그네트론 스퍼터링 방식으로 제작된 ITO-FET가 59.8 mV/decade의 감도를 기록하며 이상적인 네른스트 기울기에 더 근접한 우수한 나트륨 이온 검출 성능을 나타냈다.

Mahmudah Salwa Gianti; Kwang Soup Song

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Mahmudah Salwa Gianti (Kumoh National Institute of Technology) Kwang Soup Song (Kumoh National Institute of Technology)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2019년도 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집

발행연도: 2019.6

수록면: 987 - 987 (1page)

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The challenge for medical sensor development is to obtain the sensitive and simple detection of a specific ion such as sodium (Na⁺) which usually can be found on human blood and extracellular fluid. We have fabricate field-effect transistor on indium tin oxide (In₂SnO₅) and gate surface is coated with Na⁺ ion selective membrane (Na-ISM) for detectoin of Na⁺ ion. We used two methods for oxidization of gate channel surface, anodization of ITO and sputtering of mixed O₂ gas. Anodized-ITO was produced by anodic oxidation at room temperature. This process was used to forming a higher resistance ITO which can increase the sensitivity and stability of the commercial ITO [1]. Deposited ITO FETs using RF magnetron sputtering were also built and tested for detecting sodium with a mixture of argon and oxygen gas. I ... 전체 초록 보기

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