음극아크 이온 플레이팅으로 제작된 TiAlN 필름의 전자빔 조사 효과 연구

Q: 이 논문에서 정의한 TiAlN 박막이란 무엇인가?

음극 아크 이온 플레이팅법을 통해 금형 가공용 모재인 STD 61 표면에 증착된 박막을 의미한다. 이 박막은 기본적으로 높은 내마모성을 가지는 특성이 있으며, 전자빔 조사를 통한 표면 개질 공정을 통해 경도와 접착력을 더욱 향상시킬 수 있는 대상이다.

Q: 전자빔 조사 에너지가 TiAlN 박막의 표면 특성에 어떤 영향을 미치는가?

연구 결과, 전자빔 표면 개질을 통해 STD 61 모재의 비커스 경도가 최대 5800 Hv까지 상승하였으며, TiAlN 필름의 접착력 또한 최대 26N으로 증가하였다. 따라서 전자빔 조사는 박막의 내마모성과 모재와의 결합력을 강화하는 데 매우 효과적이다.

최수현; 박윤제; 김선경; 최동혁; 손동일; 김대일

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저자정보: 최수현 (울산대학교) 박윤제 (울산대학교) 김선경 (케이비아이 동국실업) 최동혁 (케이비아이 동국실업) 손동일 (케이비아이 동국실업) 김대일 (울산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020년도 한국표면공학회 춘계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2020.6

수록면: 88 - 88 (1page)

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본 연구에서는 음극 아크아크 이온 플레이팅법을 이용하여 금형가공용 STD 61 모재 표면에 내마모도가 우수한 TiAlN 박막을 증착하였으며, 후속공정으로 유도결합플라즈마 전자빔을 조사하여 표면개질에 따른 TiAlN 박막의 표면특성 변화를 고찰하였다. 전자빔 처리에 앞서, 음극 아크 이온플레이팅 조건인 질소 가스유량, 아크전류, 기판전압, 전자빔 조사 시간 등의 증착공정 변수는 선행실험으로 최적화하였으며, 전자빔 조사 에너지는 500, 1000, 1500 e ... 전체 초록 보기

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