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초록·키워드
80Ti-20Zr, 50Ti-50Zr, 20Ti-80Zr [wt%] alloy composition was designed to develop a Ti-Zr alloy target that can exhibit various properties depending on the composition ratio. And the vacuum arc melting process was established and finally, a 100[mmφ] Ti-Zr alloy ingot was developed. Then, using the Ti-Zr alloy target of these three compositions, the AIP process was performed while changing the bias voltage to form a TiZrN thin film with a thickness of about 3[μm]. The TiZrN thin film was able to achieve an adhesion force of 60[N] or more and a high hardness of 1,500[Hv] under the 100[V] bias condition, and various characteristic changes were considered by changing the Ti and Zr composition of the alloy target.
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