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박진구 (한양대학교 재료공학과)

공동저술논문수 : 11
김인권 (한양대학교 마이크로바이오칩센터)

공동저술논문수 : 4
김혁민 (한양대학교 바이오나노학과)

공동저술논문수 : 4
조병준 (한양대학교 바이오나노학과)

공동저술논문수 : 4
이승호 (한양대학교 신소재공학과)

공동저술논문수 : 3
이상호 (한밭대학교 신소재공학부 재료공학전공)

공동저술논문수 : 2
조병권 (한양대학교 바이오나노공학과)

공동저술논문수 : 2
Kim, Tae-Gon (Department of Materials Engineering, Hanyang University)

공동저술논문수 : 2
강봉균 (한양대학교 바이오나노공학과)

공동저술논문수 : 1
김규채 (한양대학교 재료화학공학부)

공동저술논문수 : 1
김인정 ([주]LG실트론 기술연구소)

공동저술논문수 : 1
김인정 ([주]실트론 기술연구소, Leading Project Team)

공동저술논문수 : 1
박진구 (한양대학교 금속재료공학과)

공동저술논문수 : 1
박형순 (하이닉스 반도체)

공동저술논문수 : 1
배소익 ([주]LG실트론 기술연구소)

공동저술논문수 : 1
배소익 ([주]실트론 기술연구소)

공동저술논문수 : 1
이건호 (한양대학교 기계공학과)

공동저술논문수 : 1
이건호 (LG 실트론 [주])

공동저술논문수 : 1
이상호 (한국생산기술연구원 생산시스템연구부)

공동저술논문수 : 1

권태영 (Kwon, Tae-Young) 논문수 · 이용수 68

소속기관: 한양대학교 금속재료공학과

소속부서: -

주요 연구분야: 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #다결정 실리콘; #단결정 실리콘; #부식방지제; #슬러리; #하부전극; #Additives; #Ceria; #citric acid; #contact angle; #Copper; #corrosion; #Cu CMP; #Cu ECMP; #Defect; #ECMP; #EEC; #EIS; #Electrochemical Mechanical Planarization; #electrochemical reaction; #Electrolyte; #Etch rate; #Friction force; #Functional Water; #Half Life Time; #ILD CMP; #KOH; #KOH $NaNO_3$; #Lithography; #Mask; #Nickel; #Ozone; #Pad temperature; #post CMP 세정; #Potentiodynamic Curve; #Potentiodynamic polarization; #RCA; #Removal rate; #Ru CMP; #Ruthenium; #SC1; #Scratch; #Semiconductor Cleaning; #Silicon oxide; #Slurry; #Solubility; #TMAH; #V-SAM; #Wet Cleaning

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