저자의 연구 키워드

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#5-Axis Machine Tool(5축 공작기계)

#간섭법(Interferometry)

#공작기계 주축

#공작기계 주축(Machine tool spindle)

#공작기계(Machine tools)

#광학두께(Optical thickness)

#광학적 두께 (Optical thickness)

#광학적 두께(Optical thickness)

#광학적 표면 형상(Optical surface shape)

#굴절률 분산 (Refractive-index dispersion)

#금속 기지 복합재

#금속 복합재(Metalmatrix composite)

#금속복합재(Metal composite)

#동적 특성(Dynamic characteristic)

#열변형(Thermal deformation)

#위상 검출 알고리즘 (Phase-extraction algorithm)

#위상 시프팅 알고리즘(Phase-shifting algorithm)

#위상 오차(Phase error)

#위상 추출 알고리즘(Phase-extraction algorithm)

#유한 요소 해석

#유한 요소 해석(Finite element analysis)

#주축(Spindle)

#진동 저감

#진동 저감(Vibration suppression)

#충격 망치 시험

#파장주사 간섭법 (Wavelength-tuning interferometry)

#파장주사 간섭법(Wavelength-turning interferometry)

#Blank Mask(블랭크 마스크)

#Extraction Algorithm(추출 알고리즘)

#Fizeau Interferometry(Fizeau 간섭계)

#Interferometry(간섭법)

#Iterative Algorithm(반복 알고리즘)

#Kalman Filter(Kalman 필터)

#Kinematic Error(기구학적 오차)

#Multi-axis machine tool

#Nonlinear Error(비선형 오차)

#Optical Path Difference(광로차)

#Optical Thickness Irregularity(광학적 두께 변동 성분)

#Phase-Calculation Algorithm(위상 계산 알고리즘)

#Phase-iterative Analysis(위상 반복 분석법)

#Phase-Shifting Algorithm(위상 검출 알고리즘)

#Refractive-Index Dispersion(굴절률 분산)

#R-Test(R-테스트)

#Second-Harmonics(2차 고조파)

#Sensitivity analysis

#Sensitivity Analysis(민감도 분석)

#Silicon Wafer(실리콘 웨이퍼)

#Surface Profiling(표면 형상 측정)

#Thickness(두께)

#Three-Surface Interferometry(3면 간섭계)

#Transformation error

#Volumetric error

#Volumetric Error(공간 오차)

#Wavelength Modulation(파장 변조)

#Wavelength Tuning Interferometer(파장 주사 간섭계)

#Wavelength-tuning Interferometry(파장 주사 간섭법)